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检测对象
印刷电路板,电子与机械,模块,机电,组件和插头,半导体封装与互连,微系统,传感器,执行器,MEMS和MOEMS
主要技术参数
● 管电压:160kV或225kV
● 管类型:开放式微焦点射线管
● 靶:透射式
● 靶材:钨靶
● JIMA分辨率:至高可达0.5μm
● 扫描方式:锥扫
● 探测器:数字平板探测器
检测实例

检测对象
印刷电路板,电子与机械,模块,机电,组件和插头,半导体封装与互连,微系统,传感器,执行器,MEMS和MOEMS
主要技术参数
● 管电压:160kV或225kV
● 管类型:开放式微焦点射线管
● 靶:透射式
● 靶材:钨靶
● JIMA分辨率:至高可达0.5μm
● 扫描方式:锥扫
● 探测器:数字平板探测器
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